一种利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法

摘要

本发明公开了一种利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法，包含如下步骤：第一步，提供人体头发、单晶金刚石衬底以及双基片台MPCVD反应装置；第二步，将单晶金刚石衬底放在下基片台凹槽处，人体头发绑成头发束通过传送装置置于上基片台中心孔内；第三步，反应装置内通入氢气，产生微波等离子体，调节装置工艺参数，头发束以一定速度伸出上基片台中心孔并进入等离子体中被刻蚀，同时进行单晶金刚石生长；第四步，利用激光切除单晶衬底，得到由人体头发为碳源制备的单晶金刚石；该方法采用微波等离子体化学气相沉积方法合成单晶金刚石，将头发作为碳源，通过在双基片MPCVD反应装置腔体内刻蚀人体头发的同时生长出单晶金刚石。