制备具有改进的抗湿性的阻隔膜的方法及由其制备的阻隔膜

摘要

本发明公开了制备具有改进的抗湿性的阻隔膜的方法及由其制备的阻隔膜。具体地，本发明提供制备具有改进的抗湿性的阻隔膜的方法，其包括：a)通过沉积在衬底上形成氧化物薄膜；以及b)在约50至500℃的温度和约10至50atm的压力下使用N2、O2或其混合气体来高压热处理氧化物薄膜。根据该方法，能够在低处理温度下通过使用热能和压力能来改进阻隔膜的抗湿性。此处所提供的阻隔膜能够有用于作为太阳能电池的阻隔膜。