公开/公告号CN101568666B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社COWINDST;
申请/专利号CN200780048068.5
发明设计人 金一镐;
申请日2007-12-26
分类号C23C16/448(20060101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人谢顺星
地址 韩国仁川广域市
入库时间 2022-08-23 09:12:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/448 登记生效日:20190711 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2013-01-02
授权
授权
2013-01-02
授权
授权
2011-01-12
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C16/448 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2011-01-12
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/448 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2009-12-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-28
公开
公开
2009-10-28
公开
公开
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机译: 薄膜沉积工艺和装置,用于薄膜沉积工艺的FTIR气体分析仪以及用于薄膜沉积工艺的混合气体供应装置
机译: 薄膜沉积工艺和装置,在薄膜沉积工艺中使用的红外气体分析仪以及在薄膜沉积工艺中使用的混合气体供应装置
机译: 用于在用于熔化有色金属的熔融炉中快速供应原料并提供有助于原料反应的第一气体的装置,该装置包括原料步骤和调节原料分布的调节器。烤箱;方法。