一种超精密机床环境温度控制系统

摘要

本发明属于环境温度控制技术，涉及一种超精密机床的环境温度控制系统。其特征在于：在操作间(1)有一个超净间(2)，超净间(2)的超净间地板(6)和墙壁与操作间(1)之间留有气路通道(5)，在超净间天花板(3)上有垂直悬吊的4根～20根电缆(7)，在每根电缆上设置有高低两个温度传感器(8)。本发明提出了一种超精密机床的环境温度控制系统，能全面准确地反映机床周围环境温度场的时间、空间等动态信息；实现了主动、前馈、综合、动态温度精确控制；能够根据机床工作的不同状态进行精密控制；减小了温控系统精度波动和能源浪费。