MEMS 装置、液体喷射头、液体喷射装置及 MEMS 装置的制造方法

摘要

本发明提供了一种能够对被层叠在树脂部上的配线中的电连接的可靠性的下降进行抑制的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、以及MEMS装置的制造方法，所述MEMS装置具备基板，所述基板具有从一个面突出的由树脂形成的树脂部以及覆盖树脂部的表面的至少一部分的第一配线，第一配线沿着所述一个面上的第一方向而从与树脂部重叠的位置起延伸设置至偏离于树脂部的位置处，在与第一方向交叉的第二方向上，树脂部的宽度为覆盖该树脂部的第一配线的宽度以上。