公开/公告号CN107904573A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 夏禹纳米科技(深圳)有限公司;
申请/专利号CN201711410290.7
发明设计人 刘万满;
申请日2017-12-23
分类号
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人汤东凤
地址 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区骏丰中城智造创新园B5-1栋三楼
入库时间 2023-06-19 04:58:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20171223
实质审查的生效
2018-04-13
公开
公开
机译: 使用区域喷淋器的双区带喷淋头和化学增强的化学气相沉积装置
机译: 具有多个离子喷淋栅的化学气相沉积等离子体反应器
机译: 具有多个离子喷淋栅的化学气相沉积等离子体反应器