高功率激光二极管列阵的微通道冷却封装组件

摘要

本发明与高功率激光二极管列阵有效冷却方式有关。该组件由硅片一玻璃片一硅片粘合而成，13mm×13mm×1mm。硅片内侧有化学蚀刻的200条微通道，二极管条粘附在微通道背面。泵送高压冷却液从中流过，实现冷却。本发明提出更有效的方法，在一次工艺中完成夹心层的粘合。本发明是将硅片，玻璃片，硅片三层材料叠好，放在恒温炉中两电极间实现，用于玻璃与金属(或单晶)之间的粘合。