用于提升介电常数的薄膜电容器及其制作方法

摘要

本发明公开一种用于提升介电常数的薄膜电容器及其制作方法。薄膜电容器的制作方法包括：首先，将一承载基板放置在一加工机台上，其中加工机台具有多个沿一平面式生产线依序排列的加工区域；接着，形成交替地堆栈在承载基板上的多个金属层以及多个绝缘层，以完成一多层式堆栈结构的制作；然后，形成两个端电极结构，以分别包覆多层式堆栈结构的两相反侧端部。本发明通过加工机台的加工，使得多个金属层以及多个绝缘层能够交替地堆栈在承载基板上，借此以完成薄膜电容器的多层式堆栈结构的制作。每一个绝缘层包括一绝缘材料层以及多个混入绝缘材料层内的奈米材料，借此以增加多层式堆栈结构的介电常数。