用于提高系统生产力的平台架构

摘要

本发明涉及一种用于提高系统生产力的平台架构。一种用于衬底处理系统的装载站，其包括第一和第二竖直堆叠的装载站。第一装载站包括第一气锁容积以及布置在第一装载站的相应端部处的第一和第二阀。第一和第二阀构造成选择性地提供到第一气锁容积的路径，并且包括分别构造成打开和关闭第一阀和第二阀的第一和第二致动器，并且第一和第二致动器从第一装载站向下延伸。第二装载站包括第二气锁体积，以及布置在第二装载站的相应端部处的第三和第四阀。第三和第四阀构造成选择性地提供到第二气锁容积的路径，并且包括分别构造成打开和关闭第三和第四阀的第三和第四致动器。