具有改进的空间增益均匀性和分辨率的X射线探测器以及制造这种X射线探测器的方法

摘要

提出了一种X射线探测器(1)，包括诸如CMOS光探测器的光探测装置(3)、诸如CsI：Tl层的闪烁体层(5)、反射体层(9)和介于闪烁体层(5)和反射体层(9)之间的发光层(7)。发光层(7)可以包括OLED，并且可以制成小于50μm的厚度。由此，可以改进X射线探测器的灵敏度和分辨率。