一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统

摘要

本发明公开了一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统，该方法包括：处理器将目的位移信号输入到柔性机构的输入输出模型，获取第一位移信号；将目的位移信号与位移传感器发送的第一位移反馈信号相减，获取第一误差信号，并将第一误差信号输入到PID控制器，获取第二位移信号；将第一位移信号和第二位移信号发送至压电陶瓷；本发明可以利用对柔性机构的输入端位移与最终位移输出端之间存在的非线性位移传递函数建立的输入输出模型，确定压电陶瓷的驱动器的输出位移量与柔性机构的最终输出位移量的对应关系，避免了柔性机构的非线性位移传递函数关系对柔性纳米定位的影响，提高了柔性纳米定位的精确度。