法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L41/053 申请公布日:20180206 申请日:20170601
发明专利申请公布后的视为撤回
2018-03-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/053 申请日:20170601
实质审查的生效
2018-02-06
公开
公开
机译: 压电振动模块和具有压电振动模块的压电振动致动器
机译: 压电振动模块和具有压电振动模块的压电振动执行器
机译: 音叉型比莫压电压电振动器,包括该振动器的振动陀螺仪模块以及制造音叉型比莫压电振动器的方法