用于X射线探测器的薄膜晶体管阵列基板和X射线探测器

摘要

本发明提供一种用于X射线探测器的薄膜晶体管阵列基板及其X射线探测器，包括：基板、栅极布线、栅极绝缘层、有源层、源电极和漏电极、第一绝缘层、光电二极管、第二绝缘层、数据线、遮光金属层、透明电极层以及第三绝缘层，其中，光电二极管形成在像素区域中，并且包括电连接到源电极的下部电极、形成在下部电极上的光电导层、以及形成在光电导层上的上部电极；数据线，形成在该第二绝缘层上，并自贯穿第一绝缘层及第二绝缘层的接触孔电连接漏电极；遮光金属层，形成于该第二绝缘层上，遮光金属层与有源层交叠；透明电极层，形成于该第二绝缘层上，透明电极层电连接上部电极，且透明电极层电连接于遮光金属层。