一种低温分离制取超高纯气体的方法及低温分离系统

摘要

一种低温分离制取超高纯气体的方法及低温分离系统，所述的方法包括：将目标产品原料气通入第Ⅰ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔顶排出的气体经过塔顶冷凝器，冷凝的液体一部分作为回流液从塔顶回到所述第Ⅰ脱重塔，一部分作为采出的物料通入第Ⅱ脱重塔，所述第Ⅰ脱重塔塔釜排出重组分杂质；所述第Ⅱ脱重塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述第Ⅱ脱重塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质；从所述第Ⅱ脱重塔中部采出物料通入脱轻塔，从所述脱轻塔塔顶排出的气体经过冷凝器，冷凝的液体作为回流液从塔顶回到所述脱轻塔，未冷凝的轻组分杂质排出，塔釜排出重组分杂质，从所述脱轻塔中部采出液体产品；本发明具有设备简单，设备效率高，可制取的产品范围宽，对原料气的纯度要求低等特点。