分压环的制备方法、分压环和功率晶体管

摘要

本发明提供了一种分压环的制备方法、分压环和功率晶体管，其中，制备方法包括：将有源区和划片区之间的区域确定为分压区，在分压区的N型衬底上形成有N型外延层后，对N型外延层进行光刻处理，以形成靠近有源区的多个注入窗口，以及形成靠近划片区的一个注入窗口；在完成光刻处理后，对分压区进行P型离子注入和退火，以在多个注入窗口下方的N型外延层中形成多个第一类P型掺杂区，在一个注入窗口下方的N型外延层中形成第二类P型掺杂区，任两个相邻的第一类P型掺杂区的耗尽层之间是连通的，第二类P型掺杂区的耗尽层与第一类P型掺杂区的耗尽层之间不连通。通过本发明的技术方案，改变了分压环的耗尽层的分布形状，提高了器件的击穿电压。