基于BVD模型的BAW滤波器设计方法、装置及设备

摘要

本发明公开了一种基于BVD模型的BAW滤波器设计方法、装置及设备。该方法包括：根据BVD电路模型构建BAW滤波器的由若干串联和/或并联谐振子组成的原始等效电路模型，并依据该BAW滤波器的优化特性设置其最优参数；提取单个所述谐振子的电路模型参数；依据所提取的单个谐振子的电路模型参数构建所述BAW滤波器初始布局；优化所述初始布局之后再提取所述BAW滤波器的电路模型参数和单个所述谐振子的电路模型参数，以获得优化参数；若所述最优参数与所述优化参数之间的差异值超出预设范围，继续对所述优化后的初始布局进行调整，直至所述差异值符合所述预设范围。本发明实现了BAW滤波器设计中物理场仿真与电路模型之间的准确等效，为滤波器的制作提供更加准确的结果。