公开/公告号CN107560654A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 东风汽车电子有限公司;
申请/专利号CN201710898143.2
申请日2017-09-28
分类号
代理机构上海精晟知识产权代理有限公司;
代理人冯子玲
地址 441001 湖北省襄阳市高新区江山南路创业中心
入库时间 2023-06-19 04:16:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D18/00 申请日:20170928
实质审查的生效
2018-01-09
公开
公开
机译: 包括这种台架系统的台架系统校准方法,台架系统和光刻设备。
机译: 包括这种台架系统的台架系统校准方法,台架系统和光刻设备。
机译: 台架系统的校准方法,台架系统以及具有这种台架系统的光刻设备