与成像装置中失真校正相关的方法、系统和装置

摘要

本文公开了与失真校正成像相关的装置、系统和方法，该失真校正成像旨在采集衬底的图像相关数据，所述装置、系统和方法包括：一光束发射器，用于将发射指向衬底上预期位置处，以及一信号检测器，用来确定与所述发射相关联的信号强度值；其中所述信号强度值与校正后的衬底位置相关联，所述校正后的衬底位置是从所述预期衬底位置和校正因子中确定的，所述校正因子是所述预期衬底位置的一个函数。