公开/公告号CN107464048A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-12
原文格式PDF
申请/专利权人 广东电网有限责任公司电力调度控制中心;国电南瑞科技股份有限公司;
申请/专利号CN201710620619.6
申请日2017-07-26
分类号G06Q10/06(20120101);G06Q50/06(20120101);
代理机构44102 广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人林丽明
地址 510699 广东省广州市越秀区梅花路75号
入库时间 2023-06-19 04:05:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q10/06 申请日:20170726
实质审查的生效
2017-12-12
公开
公开
机译: 扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。
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