一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法和生产装置

摘要

本发明公开了一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法和生产装置，其主要由无水氟化氢钢瓶、电解槽、固渣捕集器、冷却除酸器、酸吸附塔、缓冲罐、中间压缩机、纯化器、微粒过滤器、产品贮罐、充装压缩机、成品容器、氢气洗涤塔组成。其生产方法包括：干燥的氮气充入无水氟化氢钢瓶；无水氟化氢呈液相加入电解槽；电解反应产生氟气；氟气进入固渣捕集器除去粒状物；氟气进入冷却除酸器，去除掉HF；进入酸吸附塔除去气相氟化氢；进入缓冲罐并由中间压缩机加压送入纯化器；进入微粒过滤器除去吸附剂微粒；进入产品贮罐；充入产品钢瓶。本发明的有益效果为：氟气纯度高、生产工艺简单、操作性能安全可靠、系统运行稳定、可实现连续性生产和连锁自控。