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物体搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、物体搬运方法以及曝光方法

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基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括：利用保持垫(84b)，对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持；解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持；以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制，以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此，可迅速地将基板搬运至基板固持器。

著录项

公开/公告号CN107466381A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-12

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社尼康;
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申请/专利号CN201680020622.8
发明设计人青木保夫;长岛雅幸;山中贵裕;
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申请日2016-03-30
分类号
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人寿宁
地址日本东京都港区港南二丁目15番3号
入库时间 2023-06-19 03:59:41

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-04-24

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20160330

实质审查的生效
2017-12-12

公开

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