一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器

摘要

本发明公开了一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括：压电基片(22)、感知延迟线(21)、参考延迟线(23)和SiO2薄膜(212)，所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)平行且同向，设置于压电基片(22)上；所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的结构相同；所述SiO2薄膜(212)沉积于感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的表面上，所述图形化磁致伸缩薄膜设置在所述SiO2薄膜(212)表面上，在所述感知延迟线(21)的传播路径上。本发明电流传感器通过采用一种平行且同向设置的双延迟线型结构，并将磁致伸缩薄膜材料进行图形化以提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。