一种增量式圆光栅尺光栅角位移检测系统及方法

摘要

本发明涉及一种增量式圆光栅尺光栅角位移检测系统及方法，系统包括平行光源、增量式圆光栅尺、光电传感器阵列、信号处理单元、角位移显示单元以及高速电压比较器；其中，增量式圆光栅尺垂直平行光源的照射方向；光电传感器阵列放置于该增量式圆光栅尺光栅栅距内，并呈阶梯型均匀分布；高速电压比较器连接于光电传感器阵列和信号处理单元之间，对光电传感器阵列输出信号进行整形以及对整形得出的方波信号进行电平转换；所述信号处理单元与角位移显示单元连接，将计算得到的角位移值显示在角位移显示单元上。本发明具有构成简单、检测成本低、测量精度高、检测速度快、实用性强等优点。