被固有地设计为共振、适于RF功率传送的装置以及包括这种装置且可用于产生等离子体的组

摘要

本发明涉及一种被固有地设计为共振的装置(2)，所述装置(2)适于RF功率传送，具体能够用于产生等离子体，并且能够电连接在具有固定频率或可变频率的射频电源(3)的下游，所述装置(2)包括：至少一个电感元件(Lp)，所述至少一个电感元件在使用时能够由这种至少一个电源(3)供电；至少一个电容元件(Cp)，所述至少一个电容元件电连接在这种至少一个电感元件(Lp)的端子处；这种至少一个装置(2)具有等于的共振角频率。电容元件(Cp)和电感元件(Lp)具有使得在共振状态下电容元件和电感元件提供在这种装置(2)的端子处测量的等效阻抗的值，所述等效阻抗大致为电阻式，并且远大于在这种装置(2)的这种端子上游处的寄生阻抗的值，使得这种寄生阻抗的效应在使用期间大致能够忽略。