纳米结构的引导组装方法

摘要

本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法，包括：在基材上形成图案；在图案上涂覆嵌段共聚物薄膜；所述嵌段共聚物包括式(I)或式(II)所示嵌段；引导所述嵌段共聚物薄膜相分离自组装形成纳米结构；去除所述纳米结构中的一相，未去除的相作为掩模将纳米结构转移刻蚀到基材上。本发明采用包含聚丙烯酸酯嵌段的嵌段共聚物，由于所述嵌段共聚物包含具有相近的表面自由能的嵌段，在加热退火过程中不会在表面形成平铺的浸润层，而是形成垂直于基材的相畴，无需额外处理，就可得到垂直于基材的纳米结构。并且由于链段‑链段相互作用较大，可以通过调节嵌段共聚物的分子量，直接引导组装得到更小尺寸的纳米结构。