原位分析电子器件制造系统中的气体的方法及系统

摘要

本发明所揭露的系统及方法包括调整在检测腔室中的样品气体的压力层级(例如利用加压惰性参考气体)，以及判定经调整的样品气体的组成。通过调整样品气体的压力层级，样品气体的组成的判定可相对于其它可能方法而更加精确。本发明亦揭露数种其它实施方面。