基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析方法

摘要

本发明公开了一种基于量子衍生遗传算法(QIGA)的光学薄膜结构分析方法，其包括：(1)输入基于QIGA的薄膜表征的初始参数值；(2)生成表征薄膜结构参数的初始量子种群；(3)对初始量子种群进行观测；(4)判断是否满足终止条件，若是，则终止程序，若否，则继续进行；(5)对量子种群中的个体进行适应度评估，并保存最优个体；(6)量子旋转门操作，生成子代；(7)量子变异操作，更新子代；(8)量子全干扰交叉操作，更新子代；(9)精英保留策略操作，并转到步骤(4)。本发明的方法在薄膜的GIXR拟合求解过程中具有收敛速度快和求解精度高的优势，解决了基于传统遗传算法的薄膜掠入射X射线反射拟合求解中存在的效率低、精度差等问题。