用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及研磨装置

摘要

本发明公开用于快速加工高硬度、高脆性基板的研磨板及利用其的基板研磨装置。本发明的研磨板的特征在于，研磨板具有金属粒子分散于高分子的形态，且上述金属粒子属于碳含量为0.12重量百分比以下的碳钢材质。此时，优选地，上述金属粒子属于碳含量为0.01重量百分比以下、硬度为400MPa以下的低碳钢材质。并且，优选地，上述金属粒子具有100～200μm的大小。