扩散速率受限的热化学气相沉积涂层

摘要

本发明公开了热化学气相沉积涂布制品和热化学气相沉积方法。所述制品包括基材和基材上的热化学气相沉积涂层。热化学气相沉积涂层包括通过扩散速率受限的热化学气相沉积产生的特性。热化学气相沉积方法包括将气态物质引入容器并且通过气态物质的扩散速率受限的反应在容器内在制品上产生热化学气相沉积涂层。