公开/公告号CN107267936A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-20
原文格式PDF
申请/专利权人 捷客斯金属株式会社;
申请/专利号CN201611242711.5
发明设计人 挂野崇;
申请日2016-12-28
分类号C23C14/34(20060101);C23C14/08(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人胡嵩麟;王海川
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 03:33:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20161228
实质审查的生效
2017-10-20
公开
公开
机译: -基于IZO氧化铟锌的基于IZO的溅射靶及其制备方法
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