热解氮化硼材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种热解氮化硼材料的制备方法，包括以下步骤：在真空条件下，将基底模具置于携带有环硼氮烷蒸汽的载气气氛中，采用化学气相沉积法，使不断附着在基底模具的沉积面上的环硼氮烷热解，形成热解氮化硼。该热解氮化硼材料的制备方法具有工艺简单易控、成本低、能耗低、产率高、绿色环保等优点。