用于IR及UV监测的小体积长路径长度多程气体池

摘要

本发明描述一种用于监测流体的多程池组合件，以及利用所述多程池组合件的流体处理系统及使用此多程池组合件来进行流体监测的相关联方法。所述多程池组合件通常用于例如监测气相沉积工艺反应物等流体处理操作中，所述气相沉积工艺反应物例如用于从羰基钨前驱物进行钨的气相沉积金属化的反应物。