针对X射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析站

摘要

本发明涉及一种针对X射线表征设备原位池联用的反应控制和质谱分析站，所述反应控制和质谱分析站包括反应气体成分控制模块及在线气体成分分析模块，发明内容还包括基于原有真空管线部分的改装，改装后的原有真空管线部分通过总排气口、原位反应池尾气口及原位反应池混气进样口与分析站连接，其改装特征在于，所述真空管线部分增加了质谱仪采样口和采样毛细管和控制阀。本发明具有如下优点：在质谱气体采样成分分析时可忽略的采样时间延迟，并达到了原位分析连续、实时和高时间分辨率的采样分析要求；在X射线表征设备的工作条件下，获得电子结构/晶体结构的同时，同步获得环境气体成分的精确信息，扩展了设备功能，实现了原位多维度表征。