一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置及方法，该发明利用光学方法来测量转台旋转精度,利用光轴来不断逼近机械转轴并通过对光轴跳动量的测量来获得机械转轴精度。具体是利用平行光穿过机械转轴，并成像于随转轴转动的检测相机的焦面上,机械转轴转动时检测相机的成像点会随之运动，运动轨迹接近与圆形,圆心位置则对应机械转轴，通过调节平行光的方向使得成像点接近圆心,通过多次调节及逼近最终使得成像光斑质心随转轴转动变化最小,该质心变化量与成像相机焦距的比值即为转轴的旋转精度,且机械转轴与光轴重合。本发明装置结构简单、成本低廉、标定方法简单。