团簇离子注入的系统、大原子基团形成方法和超浅结制备方法

摘要

本发明提供了一种团簇离子注入的系统、大原子基团形成方法和超浅结制备方法，大原子基团的形成包括离子源发生腔中生成离子源；从离子源发生腔出来的部分离子源进入靶材腔，轰击靶材，从靶材中轰击出的离子、原子、分子、原子团相互碰撞，生成原子团；从靶材腔出来的原子团进入基团增大腔中，同时，从离子源发生腔出来的部分离子源进入基团增大腔并且碰撞从靶材腔出来的原子团使其带电，从而增加带电大原子团的占比；从基团增大腔出来的大原子团进入磁场分析腔，进行荷质比筛选，选择所需荷质比的带电原子团。本发明实现了离化的大原子基团和利用大原子基团的注入。