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一种高能带电粒子束从真空到大气的引出窗口

摘要

本发明公开一种高能带电粒子束从真空到大气的引出窗口,其窗口的主体由等离子体纵向引射式气动窗口组成,利用了超音速等离子体的动能压力和等离子体高温双重隔离作用,引出窗口能获得极大的真空梯度,真空隔离效果极佳,此外,通过改变电极与主电源的正负极接线,可实现等离子体对通过其的带不同电性粒子束起向心汇聚作用。本发明能够解决高能带电粒子束加工制造装备在大气环境中进行加工制造存在的两大关键技术难题。

著录项

  • 公开/公告号CN107195519A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-09-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 桂林电子科技大学;

    申请/专利号CN201710552037.9

  • 申请日2017-07-07

  • 分类号

  • 代理机构桂林市持衡专利商标事务所有限公司;

  • 代理人陈跃琳

  • 地址 541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号

  • 入库时间 2023-06-19 03:20:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-10-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/04 申请日:20170707

    实质审查的生效

  • 2017-09-22

    公开

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