一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法

摘要

本发明公开了一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法，包括以下步骤：(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：32％～65％、盐酸：12％～18％、硝酸：10％～15％、氢氟酸：0.9％～5％、纯水：14％～32％；(2)将TFT‑LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT‑LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；(4)将上述清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。