一种同时测量高反射/高透射光学元件的反射率、透过率、散射损耗和吸收 损耗的方法

摘要

本发明涉及一种同时测量高反射/高透射光学元件的反射、透过、散射和吸收的方法，该方法基于光腔衰荡技术，先测量初始光学谐振腔的衰荡时间τ0，然后加入待测高反射/高透射光学元件，测量测试光学谐振腔的衰荡时间τ1，经计算得到高反射/高透射光学元件的反射率/透过率；同时测量高反射/高透射光学元件的透射/反射光强信号和散射光强信号与输出腔镜的透射光强信号的比值，通过定标得到光学元件的透过率/反射率和散射损耗；光学元件的吸收损耗可以通过反射率、透过率和散射损耗求得。该测量方法不仅可测量高反射/高透射光学元件的反射率、透过率、散射损耗和吸收损耗，而且可对其分布实现高分辨率二维成像。