光学元件高反射比高透射比测试技术研究

摘要

反射比和透射比是评价光学元件光学薄膜等光学性能的重要参数，也是开发新型光电材料的一个重要依据。本文在单次反射测量法的基础上，结合激光稳功率技术、精密探测技术以及双光路测量技术，研建了一套激光光学元件高反射比、高透射比测量系统，解决了单次反射测量法中由于光源的光强波动和探测器面响应度不均匀所引起的测量不确定度偏大的问题，从根本上解决光学元件和光学薄膜的高反射比和高透射比精确测量问题，不仅实现了不同入射角度的高反射比测量，也实现了高透射比测量，并对测量结果进行了测量不确定度分析，经分析得测试系统在632.8nm波长下高反射比、高透射比的测量不确定度优于0.01％，在1064nm波长下高反射比、高透射比的测量不确定度优于0.015％，最后对光学元件高反射比、高透射比测量技术的前景进行了展望。

目录

声明

摘要

1 绪论

1．1 概述

1．2 背景与应用

1．3 论文研究的主要工作和重点

2 各种测量方法及比较

2．1 透射比测量

2．1．1 透射比

2．1．2 透射比的测量方法

2．2 反射比测量

2．2．1 反射比

2．2．2 反射比的测量方法

2．3 各种测量方法的比较

2．4 本章小结

3 光学元件高反射比、高透射比测量系统

3．1 光学元件高反射比、高透射比测量系统的测量原理

3．1．1 测量系统的测量原理

3．2 光学元件高反射比高透射比测量系统

3．2．1 光源系统

3．2．2 高精度激光稳功率系统

3．2．3 监视测量系统

3．2．4 精密接收探测系统

3．2．5 计算机数据采集、处理及控制系统

3．3 测量系统的联调

3．3．1 光源系统的安装调试

3．3．2 激光稳功率系统的安装调试

3．3．3 监视探测系统的安装调试

3．3．4 精密接收探测系统的安装调试

3．4 关键技术的解决情况

3．4．1 光学元件高反射比、高透射比测量系统的总体设计

3．4．2 空间滤波技术

3．4．3 稳功率激光束的获得及光路调整

3．4．4 监视探测器的研制(陷阱探测器)

3．4．5 精密接收探测器的研制(积分球探测器)

3．4．6 双光路监视测量技术

3．4．7 光电流的精确测量

3．4．8 测量系统屏蔽技术

3．5 本章小结

4 高反射比、高透射比测量结果及测量不确定度分析

4．1 光学元件高反射比、高透射比测量结果

4．1．1 波长632．8nm，光学元件透射比的测量

4．1．2 波长632．8nm，光学元件高反射比测量

4．1．3 波长1064nm，光学元件高透射比测量

4．1．4 波长1064nm，光学元件高反射比测量

4．2 测量不确定度分析

4．2．1 激光光学元件高反射比测量不确定度分析评定

4．2．2 激光光学元件高透射比测量不确定度分析评定

4．3 本章小结

5 总结

5．1 结论

5．2 光学元件高反射比、高透射比测量技术进步点

5．3 下一步工作计划

致谢

参考文献