基于光栅测量技术的一体式直线运动定位系统的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于光栅测量技术的一体式直线运动定位系统的制备方法，包括以下步骤：直线运动部件上光栅线纹的制造：对直线运动部件表面进行研磨、抛光，然后在其表面上制作光栅线纹结构；光栅线纹保护膜涂覆：在光栅线纹表面涂覆一层SiO2保护膜；紧凑型反射式光栅读数头制造：使用LED光源和栅状传感器组成光电转换部分，再配以细分电路部分，组成完整的紧凑型反射式光栅读数头；光栅读数头的装配。本发明的一体式直线运动定位系统，在数控机床和测量仪器中使用时，能够免除光栅安装时繁琐复杂的调试环节，能够有效避免阿贝误差，减小测量不确定度，提高设备的定位测量精度，具有广泛的市场前景和推广应用价值。