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纳米线阵列的雕刻方法及纳米线阵列

摘要

本发明涉及纳米技术领域,具体公布一种纳米线阵列的雕刻方法。这种方法包括:1)制作纳米线;2)在所述纳米线表面进行多层光刻胶的涂覆处理,形成NAs@PR基质,用紫外光曝光NAs@PR基质,最后将NAs@PR基质浸没在刻蚀溶液中。通过本雕刻方法,获得质量高、形态和密度可控的纳米线阵列。

著录项

  • 公开/公告号CN107112234A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南方科技大学;

    申请/专利号CN201580069459.X

  • 申请日2015-09-17

  • 分类号H01L21/308(20060101);H01L21/306(20060101);B81C1/00(20060101);

  • 代理机构44237 深圳中一专利商标事务所;

  • 代理人官建红

  • 地址 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号

  • 入库时间 2023-06-19 03:13:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/308 申请日:20150917

    实质审查的生效

  • 2017-08-29

    公开

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