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公开/公告号CN107112234A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 南方科技大学;
申请/专利号CN201580069459.X
发明设计人 程春;石润;刘世源;陈鹏程;欧阳文开;陈宏;张亮;
申请日2015-09-17
分类号H01L21/308(20060101);H01L21/306(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构44237 深圳中一专利商标事务所;
代理人官建红
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
入库时间 2023-06-19 03:13:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/308 申请日:20150917
实质审查的生效
2017-08-29
公开
机译: 纳米天线阵列的制造方法,纳米天线阵列芯片及光刻结构
机译: 纳米天线阵列的制造方法纳米天线阵列芯片和光刻结构
机译: 制造纳米线阵列的方法和包括纳米线阵列的设备
机译:常规光刻法的垂直纳米线阵列的三维雕刻
机译:将金属泡沫雕刻为双功能3D氧化铜纳米线阵列以进行伪电容和无酶过氧化氢检测
机译:银的雕刻纳米线阵列的等效介电常数,磁导率和折射率的负实部
机译:通过将嵌入式含有柔性聚合物的硅纳米线阵列转移纳米末端的硅纳米线阵列进行放大
机译:用于合成无机纳米线和纳米线阵列的化学和反应性蒸汽传输方法。
机译:Ni和Cu纳米线阵列以及Ni / Cu超晶格纳米线阵列的光学性质
机译:与氧化铝膜集成的铁电聚合物纳米线阵列中纳米核精聚纳米线阵列呈现出记录冷却功率密度的巨型电热效应
机译:纳米管和纳米线阵列的可调谐热辐射特性。