用于可变的基底厚度的外部翻转器系统以及用于旋转基底的方法

摘要

一种分发器包括框架、构台系统、分发单元、基底支撑组件、输运系统和翻转器系统，所述翻转器系统被结合到所述框架并且与所述输运系统连通。所述翻转器系统被安置在所述基底支撑组件外面并且被配置以使基底取向在第一位置和第二位置之间旋转，在所述第一位置中所述基底的所述上表面处于分发位置中，在所述第二位置中所述基底的所述下表面处于分发位置中。所述翻转器系统包括被配置以接合所述基底的一个边缘的第一驱动组件和被配置以接合所述基底的相对的边缘的第二驱动组件。所述第一驱动组件和所述第二驱动组件被配置以驱动所述基底的线性移动。