一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺

摘要

本发明涉及电池片刻蚀技术领域，具体为一种可降低NOx排放的太阳能电池片刻蚀工艺，包括以下步骤：步骤1：在待刻蚀硅片的上表面均匀附着去离子水，形成水膜；步骤2：调整刻蚀槽内滚轮的平整度，使刻蚀槽内所有滚轮保持绝对水平；步骤3：向刻蚀槽内加入优化刻蚀液；步骤4：将待刻蚀硅片放入刻蚀槽内进行刻蚀。本发明通过在硅片上表面形成有一层去离子水膜，可以很好的减轻对硅片的外观以及效率造成的负面影响；而且当刻蚀酸液无法扩散到硅片上表面后，减少了刻蚀液的浪费，能够很好的减少硝酸的用量,从而大大降低NOx的排放量，在保证电池片效率和刻蚀效果的前提下，可以实现保护环境以及减小NOx处理成本的效果。