一种双腔激励的增强型微波等离子体炬发生装置

摘要

一种双腔激励的增强型微波等离子体炬发生装置，属于微波等离子体技术领域，包括微波磁控管、环行器、定向耦合器、微波等离子体耦合波导、圆柱形波导、点火器和放电管。微波磁控管、环行器、定向耦合器依次串联后，定向耦合器与微波等离子体耦合波导连接。在垂直于压缩矩形波导的放电管轴向上增加了一个圆柱形波导腔室；在微波等离子体耦合波导中的热阻波导有效隔绝了等离子体放电的热释放对整个系统的影响；点火器使得整个系统由单人操作方便的完成点火、激发、维持的一系列过程，在微波源的空载输出较低的条件下点火成功率接近100％。本发明的效果和益处是能够增加等离子体炬的最大功率获得具有较大体积作用区的等离子体炬余辉，使之可以长时间稳定可靠的运转，在辅助燃烧，纳米材料合成，废气处理和耐高温材料表面改性等方面的应用诸多相关领域得到应用。