法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-05
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/67 申请公布日:20170818 申请日:20170504
发明专利申请公布后的驳回
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20170504
实质审查的生效
2017-08-18
公开
公开
机译: 利用波长比紫外线短的紫外线或光束精加工材料表面的方法和装置,以及利用这些方法和装置制造高聚物化合物的产品的方法和装置
机译: 一种材料表面的去除鳞片的装置,能够防止轧制材料的表面缺陷,因为刷子可以去除材料表面上的异物
机译: 清洁和处理受污染材料表面的装置,具有两个涡轮旋风分离器单元,配有超真空喷射器,用于通过离心压缩机泵喷射高超声速和高真空介质