测量处理装置、X射线检查装置、构造物的制造方法、测量处理方法、X射线检查方法、测量处理程序和X射线检查程序

摘要

一种用于X射线检查装置的测量处理装置，所述X射线检查装置检测穿过放置在放置单元上的试样的预定区域的X射线，以对所述试样的预定区域的形状进行检查，所述测量处理装置包括：设置单元，用于在所述试样上设置待检测的三维区域；以及切片选择单元，用于在所述待检测区域上设置多个切片区域，当所述多个切片区域被视为所述预定区域时，对于所述多个切片区域中的每一个切片区域，计算检测所述待检测区域所需的所述预定区域的位移量，并且基于每个计算的位移量，从所述多个切片区域中选择用于检查的切片区域。