光学装置的光轴对准方法及装置以及光学装置的制造方法

摘要

本发明涉及一种光学装置的光轴对准方法等。首先拍摄透镜支撑装置以及支撑装置底座，取得激光照射前的外形信息(Q1)。接下来，检测从准直透镜射出的光束的位置信息(Q2)。接下来，照射激光而使其塑性变形，调整准直透镜的位置(Q3)。接下来，拍摄透镜支撑装置以及支撑装置底座，取得激光照射后的新的外形信息(Q4)。接下来，检测从准直透镜射出的光束行进的光路的新的位置信息(Q5)。如果光轴对准不在容许范围，则根据在激光照射的前后得到的外形信息以及/或者位置信息，变更激光照射条件(Q7)，重复进行基于激光照射的透镜位置调整(Q3)。通过这样的手法，能够高精度且短时间地实施光轴对准。