具有不同基极外形的异质接面双极晶体管的整合

摘要

本发明涉及具有不同基极外形的异质接面双极晶体管的整合，其包括用于异质接面双极晶体管的装置结构及制造方法。在基底的第一装置区上形成第一基极层。形成与该第一基极层界定第一接面之第一射极。在基底的第二装置区上形成第二基极层。形成与该第二基极层界定第二接面之第二射极。该第一基极层与该第二基极层有不同的厚度、组成、电活性掺质的浓度、或以上的组合。