一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法

摘要

本发明涉及一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法，属于光学检测设备技术领域，所述检测装置依次包括干涉仪、聚焦透镜、拔高镜、第一小孔板、第二小孔板、离轴椭球镜、补偿透镜和全反镜，所述干涉仪用于输出激光束，聚焦透镜与干涉仪同光轴设置，拔高镜包括平行设置的第一反射镜和第二反射镜，第一小孔板和第二小孔板位于干涉仪光轴上且结构相同，离轴椭球镜的短焦点与聚焦透镜的焦点重合，经所述离轴椭球镜出射的反射光束与补偿透镜的光轴重合，所述全反镜与反射光束垂直放置，本发明具有结构紧凑、成本低、简单易操作、检测精度高、适用范围广的特点。