量具和具有这种量具的位置测量装置

摘要

本发明涉及量具和具有所述量具的位置测量装置。描述具有振幅光栅的量具，所述量具用于具有光学扫描的位置测量装置，所述量具具有载体（T），反射层（S）布置在所述载体（T）上，接着是透明的间隔层（A），对于结构化成光栅的部分透明层（M）布置在所述间隔层（A）上，部分透明层（M）限定亮暗模式，其中具有部分透明层（M）的区域显得暗，而没有部分透明层（M）的区域显得亮。密封层（V）布置在结构化的部分透明层（M）上。在此适用的是，针对间隔层（A）和密封层（V）的折射率（nA、nV）和层厚（dA、dV）的乘积（nAdA、nVdV）是相同的，或者相差奇数倍。